1. 台体及样品台尺寸：

• 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸。

2. 显微观察倍率：

• 体视显微镜：综合放大倍率14X~180X（共同CCD工业相机+显示器），光学幼分辨率约5微米；
• 金相显微镜：综合放大倍率20X~500X （共同CCD工业相机+显示器），光学幼分辨率约2微米；
  综合放大倍率20X~2000X （共同CCD工业相机+显示器），光学幼分辨率约0.5微米。

3.大功率丈量领域：10KV/1500A