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No.

Model

Description

QTY.

1.

探针台

1.1.  6英寸/8英寸/12英寸探针台体                                                               

1.2. 卡盘X/Y轴平面无间隙气浮急剧移动，移动速度可调，单手节造，急剧移动行程：8英寸X8英寸，肆意地位自动锁止，同时X/Y轴平面无间隙微调移动行程：8英寸X8英寸，精度：1um

1.3. 卡盘Z轴无间隙起落移动，行程：0~10mm，微调精度：1um

1.4. 探针平台急剧起落行程 0/0.3/3.0mm并带自动锁定职能

1.5. 探针平台微调起落行程 ±25mm，微调精度：1um，起落高度可显示

1.6. 显微镜底座在 X-Y轴平面内微调移动，行程：2英寸X2英寸，精度1微米

1.7. 显微镜Z轴气浮急剧起落，行程0~50mm，起落速度可调

1.8. 高分辨显微观察系统，光学分辨率0.5um，共同2000万像素高清工业相机和液晶显示器，带拍照、录像和尺寸丈量软件

1.9. 直流、脉冲、高压、大电流、高频探针均可配置。

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2.

高温卡盘

2.1.  6英寸/8英寸/12英寸高温卡盘，同轴结构，背栅电极测试，可兼容Banana、BNC、SHV、TRIAX、HV TRIAX等测试接口

2.2.  温度领域：RT室温 ~ +400℃

2.3.  温度分辨率 ： 0.1℃

2.4.  温度不变性： ±0.1℃

2.5.  控温方式 ：PID温控器，比例微积分算法

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3．

高压IV/CV仪表

3.1. 电压领域：±1500V，±3000V，±5000V，±10KV

3.2. 电流领域：±500A，±1500A

3.3. 电压最幼分辨率：200 μV

3.4. 电流最幼分辨率：10 fA

3.5. 多频电容丈量领域：1 kHz to 5 MHz

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5．

测试软件

5.1. 人机交互界面多职能软件；

5.2. 具备数据图形化分析职能，具备输出通路、测试通路、输出类型、扫描模式、电压/电流参数、扫描步长、输出延长、循环次数、接线方式设置职能；

5.3. 可实时测得IV曲线、VI曲线、IT曲线、VT曲线实时曲线；

5.4．滤波设置，对丈量值取均匀；

5.5. 手动设置输出和丈量的量程领域，也可设置自动量程；

5.6. 设置丈量积分功夫，节造丈量速度和精确度 

5.7. 通讯接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；  

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