总体规格特点:
沉量：200kg
尺寸：800mm長x800mm寬600mm高（含显微镜）
总功耗：8KW（其中压缩机功耗约7KW，其余约1KW）
结构注明：
真空腔体：
密关真空仓，体积25L，极限耐压真空度能够达到1×10???mbar，结合排气过滤器，预防传染客户的工作环境。顶部设计为易于打开的仓体门，便于取放被测器件。顶部为高透光红表隔热熔融石英视窗，用于显微镜进行观察。内部配置2英寸同轴接地合金样品座和4英寸样品座电磁屏蔽 ；げ，与样品座等电势位，电流泄漏最低10fA。
P1. 腔体内部图
温控 ？椋
选取高机能的26C四通路精密温度节造器、温度传感器及加热器，关循环造冷温控领域4K ~ 400K / 10K ~400K。对低于室温的温度设置点，由低温造冷机来实现降温 ；当必要升温时选取温控仪的加热器职能，节造器将实现温度的安稳节造，温控精度为1mK（0.001℃）， 温控不变度10mK（0.01℃），温度丈量误差幼于20ppm/℃。
热治理 ？/热沉处置：
温度传感器别离装置在样品台、探针臂和防热辐射屏上，提供一个正确的控温环境。探针臂、探针、防辐射层和样品座之间做热沉处置，实现各者之间的温度同步节造。同时探针做热赔偿，预防变温尝试时探针产生位移脱离样品接触点。
关循环造冷 ？椋
关循环造冷选取高效G-M循环和二级回热造冷机、高功率压缩机组成，造冷机的作用是产生陆续关合的造冷循环，压缩机的作用是提供高压氦气。G-M造冷机提供探针台所必要的冷源，这种造冷方式的利益是只必要电能，使用不受冷媒限度不亏损冷媒。这种造冷方式的低温探针台使用4K或者10K关循环造冷机，相对应的样品台温度最低低于4K和10K。造冷机的一级造冷平台冷却辐射屏以及支持衔接部门，二级造冷平台冷却样品台和探针。
P2. 两级G-M循环型造冷机
探针节造 ？椋
真空仓表接最多六个刚性结构真空波纹管臂，每个管臂均可在XYZ三维线性方向和?水平夹角进行微调，实现对真空仓内部探针的定位调节。管臂选取线性轨路和四维微分头结构，XYZ三维线性调节领域为50mmx25mmx25mm，调节精度1微米，?水平夹角可调节领域±5°，角度精度0.01°。每个真空波纹管臂提供2个真空电学接口，合用于DC/Pulse/RF测试。
显微镜 ？椋
选取视频显微镜，万向调节展臂，可X-Y-Z肆意方向移动，共同高清工业相机和液晶监督器，实现um级此外观察分辨率。
隔震 ？椋
与测试平台一体式气垫隔震支架系统，承沉：300KG，真空隔震垂直频率优于1 Hz，水平频率优于2 Hz，隔震成效优于0.5微米