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4200A-SCS 仪器和
？

提取或丈量参数列表事俘

1. Clarius Software

全新Clarius Software 用户界面，您能够把对科研的理解提 升到全新水平。4200A-SCS 蕴含Clarius+ 软件包，能够执 行险些任何类型的I-V、C-V 和脉冲式I-V 个性分析测试。 Clarius Software 用户界面提供了触滑或点击节造职能，为现 代半导体、资料和工艺个性分析提供测试界说、参数分析、 图表绘造和自动化职能。

重要特点

• 随时能够投入使用、能够批改的利用测试、项目和器件， 缩短测试开发功夫

• 业内台内置丈量视频的仪器，测试视频由全球利用工 程师提供，分为4 种说话，缩短进建周期

• pin to pad 接触查抄，确保丈量靠得住

• 多种丈量职能

• 数据显示、分析和代数运算职能

专家视频，降低个性分析复杂度
 旁观吉时利全球利用工程师造作的内置视频，迅速把握利用， 缩短进建周期。数幼时的专家丈量专业援手，在产生意想不 到的了局或对怎么设置测试存在疑难时，将为您提供指引。 Clarius Software 短专家视频支持四种说话（英语、中文、日 语和韩语），能够迅速让你洞察先机。

大量随时能够使用的利用测试可供选择
 通过Clarius 库中设备的450 多项利用测试，您能够选择或 批改预先界说的利用测试，加快个性分析速度，或从一路头 轻便地创建自界说测试。只需三步，Clarius Software 就能够 疏导新用户像专家一样实现参数分析。

实时了局和参数
 自动数据显示、算法分析和实时参数提取职能，加快获得所 需信息的速度。您不用不安数据迷失，由于所有汗青数据都 会保留下来。

无需示波器检验脉冲丈量
 脉冲按时预览模式能够轻便地查看脉冲按时参数，确认脉冲 式I-V 测试按但愿的方式执行。使用瞬态I-V 或波形捕获模式， 进行基于功夫的电流或电压丈量，而无需使用表部示波器。

典型利用

• MOSFET, BJT 晶体管
  

•  资料个性分析
  

•  非易失性存储设备
  

•  电阻率系数和霍尔效应丈量
  

•  NBTI/PBTI
  

•  III-V 族器件
  

•  失效分析
  

•  纳米器件
  

•  二极管和pn 联结
  

•  太阳能电池
  

•  传感器
  

•  MEMS 器件
  

•  电化学
  

•  LED 和OLED

第1 步 - 构建测试规划

在Clarius 库的450 多种预先界说的利用测试和项目中搜索、过滤 及选择所需测试项。

过滤测试、器件或项目库，急剧进行选择

相始项测试，获得更具体的信息，蕴含：● 全面的测试描述; ● 测试示意图; ● 所需设备。

第2 步 - 配置测试

使用Key Parameters View 或All Parameters View，迅速批改测 试参数。

第3 步 - 分析了局

查看图形了局或数据了局，过滤测试数据，象征数据，轻便地进行标识。

2. 源丈量单元(SMU)

精密直流电流VS. 电压(I-V) 丈量是分析器件和资料个性的 基石。4200A-SCS 参数分析仪的主题选取世界的源测 量单元(SMU) 仪器。源丈量单元能够提供电压或电流，能够 以极度高的分辨率和精度同时丈量电压和电流。SMU 把电 压源、电流源、电流表和电压表集成到一张仪器卡上，实现 I-V 同步丈量。
 源丈量单元占有四象限职能，因而不仅能够提供电流，还可 以吸收电流，好比测试充电电容器或太阳能电池时。

I-V 扫描丈量。

4200A-SCS 参数分析仪能够配置多9 个SMU。有两种 SMU 型号：中等功率SMU，领域高达210 V/100 mA；高功 率SMU，领域高达210 V/1 A。每个4200-SMU 中等功率 SMU 或4210-SMU 高功率SMU 占用主机的一个插槽，在 4200A-SCS 系统中能够一路使用。
 所有4200A-SCS SMUs 都有屏蔽三同轴衔接，为低电流和 高阻抗丈量及4 线(Kelvin) force 和sense 衔接提供；し缆 电职能。

终场、扫描和脉冲丈量
 内置4200A-SCS SMU 个性提供了各类丈量职能，如扫描测 量操作、线性和对数步进扫描、列表扫描、单点均匀等。

把丈量分辨率扩大到10 aA
 很多关键利用必要可能丈量超低电流，如确定FET 的栅极泄 漏电流，测试活络的纳米器件，丈量绝缘装置和电容器的泄 漏电流。
 当SMUs 配置选配的4200-PA 远程前端放大器时，它们能 够进行超低电流丈量
？衫┐笏烈釹MU 型号的电流领域， 分辨率低至10 aA。对用户，SMU 只是阐发为提供了额表的 丈量分辨率。

选配4200-PA 前端放大器
？，fA 级丈量。

前端放大器预装在4200A-SCS 主机背面。这种装置方式可 以使用尺度线缆衔接探针、测试夹具或开关矩阵
Ｄ芄淮雍 面板中去掉前端放大器，放在较远的地位( 如不透光的夹具 盒或探针台内)，解除由于长电缆导致的丈量问题。另表还提 供了上机架附件和三同轴装置附件。

超低频率C-V 技术及SMUs
 4200A-SCS 提供了的职能，能够执行超低频率电 容电压丈量，而不需LCR 仪表或电容
？。低频率C-V 测 量用来分析某些资猜中的缓慢捕获和脱阱景象。

使用SMU 和前端放大器进行超低频率C-V 丈量。

4200A-SCS 选取新的窄带技术，利用集成的SMU 仪器的低 电流丈量职能，在10 mHz ~ 10 Hz 领域内的指定低频率上 执行C-V 丈量。这种步骤选取4200A-SCS 的SMU 及前端 放大器，而不要求额表的硬件或软件。

本地开关选项

为了适应I-V 丈量和其他丈量类型之间切换，4200A-SCS 提供了多个选项，能够在分歧丈量类型之间轻便切换：

• 4200A-CVIV多通路开关
  ？ - 多四个通路，在I-V测 量和C-V 丈量之间轻便切换。此表，能够在被测器件不 同端口间自动切换C-V 丈量，而不必要抬起探针或扭转 测试设置。

• 4225-RPM 远程前端放大器 / 开关
  ？樽魑嗦犯从闷骺 关，在精密DC SMUs、C-V 和超急剧脉冲式I-V 仪器之 间自动切换。此表，RPM 扩大了4225-PMU 超急剧脉冲 式I-V 仪器
  ？榈牡偷缌髡闪恐澳。

3. 电容- 电压单元(CVU)

电容- 电压(C-V) 丈量通常用来分析MOSFET 的栅极氧化 层厚度、氧化层缺点密度、掺杂散布等。在这一丈量中，在 栅极电压变动时，栅极到漏极和源极的电容会变动。电容测 量通常选取AC 技术实现。通过在被测器件(DUT) 中提供AC 电压，而后丈量得到的AC 电流和相位角，终多频率C-V 仪器
？槟芄坏玫紸C 阻抗。

1 kHz - 10 MHz AC 丈量

4210-CVU 仪器
？樵1 kHz ~ 10 MHz 测试频率上执行几 fF 到几μF 的多频率电容丈量，同时提供高达±30 V 或60 V 差分的DC 偏置电压。

电容- 电压扫描。

由于多达 4096 个丈量点，CVU 仪器能够用来丈量电容相对
 于电压关系 (C-V)、电容相对于频率关系 (C-f) 和电容相对于功夫关系 (C-t)，提取很多沉要参数，如：

• 掺杂曲线

• 氧化层厚度

• 载流子寿命测试

• 结电容、引脚到引脚和互连电容丈量

另表还提供了 4200-CVU PWR 选项，支持：

• 高功率 C-V 丈量，高达 400 V ( 每个器件端子 200 V)，用来测试高功率器件，如 MEMs 器件、LDMOS 器件和显示面板。

• 高达 300 mA 的 DC 电流，丈量晶体管打开时的电容。

确保了局的有效性>
 与市场上其他C-V 
？榉制，4210-CVU 设计了怪异的电路，支持各类个性和诊断工具，确保了局的有效性。

• 在软件中切换 AC 电流表测试端。这种单一职能确保您在噪声的端子上丈量 AC 信号，提供更实用的丈量职能。您不用手动扭转电缆、抬升探针或扭转测试设置，能够轻松解除潜在谬误。
  
  

  
  

只需点击一下鼠标，就能够把AC 和DC 源切换到噪声的端子。

• 把 DC 偏置移到选择的端子上。在 Clarius Software中，您 只需点击一下鼠标，就能够将DC 偏置源输出至高端或低端， 确保正确的节造所施加电场。

• 实时C-V仪表。实时C-V仪表显示急剧正确的电容丈量， 而不需运行预先编程的测试
  Ｄ芄辉诳放獬ズ投搪放獬 执行前确保电路的确为开路或短路状态。此表，您能够使 用实时C-V 仪表调试测试设置和被测器件。
  
  实时电容丈量。

• 相信度查抄。这种诊断工具允许用户查抄开路和短路衔接 及到DUT 衔接的齐全性。在执行开路或短路测试时，阻抗 和噪声丈量在测试电路的高端和低端进行。这出格适合确 认已经接触晶圆上的衔接盘，或确认正确衔接开关矩阵。 若是相信度查抄诊断测试失败，那么会给出进一步的调试 指引。

本地开关选项

由于很难在C-V 和其他丈量类型之间切换，4200A-SCS 提 供了多个能够在分歧丈量类型之间轻便切换的选项：

• 4200A-CVIV 多通路开关
  ？ - 多 4 个通路，在 I-V 测 量和C-V 丈量之间轻松切换。此表，能够在DUT 分歧端 口间自动切换C-V 丈量，而不需抬升探针或扭转测试设置。

• 4225-RPM 远程前端放大器 / 开关
  ？ - 这作为多路复用 器开关，在精密DC SMU、C-V 和超急剧脉冲式I-V 仪器 之间自动切换。此表，RPM 扩大了4225-PMU 超急剧脉 冲式I-V 仪器
  ？榈牡偷缌髡闪恐澳。

4. 超急剧脉冲丈量单元(PMU)

超急剧I-V 源和丈量已经成为很多技术日益沉要的职能，包 括复合半导体、中等功率器件、非易失性存储器、MEMS 器 件等等。
 4225-PMU 
？槟芄辉谔焐炻龀宓缪共ㄐ蔚耐辈馐月 冲信号，终将其无缝集成到4200A-SCS 测试环境中，提 供了I-V 测试机能，大大扩大了系统的资料、器 件和工艺个性分析能力。它包办了传统的脉冲/ 丈量硬件配置， 传统配置通常蕴含一个表部脉冲产生器、一台多通路示波器、 专门设计的互连硬件及集成软件。

使用超急剧脉冲式I-V 限度地削减自热效应。

4225-PMU 操作模式

每个
？橛辛礁龆懒⑼。每个通路使用并行14 位模数转换 器及深存储器，能够同步丈量电压和电流，支持高达1M 采 样点、每个样点5 ns (200 MSa/sec)。

三种操作模式，全面分析个性

4225-PMU 能够用来执行三种超急剧I-V 测试：脉冲式 I-V、瞬态I-V 和脉冲源。

脉冲式I-V
 指输出脉冲式源的同时，在脉冲高电平区间进行 高速测试，提供类似DC 测试的丈量了局。使用脉冲式I-V 信号分析器件个性，而不是使用DC 信号，能够钻研或降低 自热( 焦耳加热) 效应，或限度地削减由于捕获的电荷 变动而导致的电流漂移或退化。

瞬态I-V
 或波形捕获是一种基于功夫的电流和/ 或电压丈量， 通常捕获脉冲式波形。瞬态测试通常是单个脉冲波形，用来 钻研时变参数，如由于电荷捕获或自热导致的漏极电流随时 间的变动过程
Ｄ芄唤兴蔡琁-V 丈量，测试动态测试电路； 也能够用来作为诊断工具，在脉冲式I-V 模式下选择相应的 脉冲设置。

脉冲源
 涉及使用内置Segment ARB? 职能输出用户自界说 的2 电平或多电平脉冲，或输出肆意波形。在使用仪器的 Segment ARB 模式时，各个电压段短能够达到20 ns，每 个通路多2048 个波形段，为构建波形、分析闪存设备和 其他非易失性存储技术提供了必要的矫捷性。

5. 开关解决规划

将吉时利高速度、高齐全性开关解决规划与测试丈量结合在 一路。

4200A-CVIV 多通路开关

把各类丈量集成到器件个性分析中难题的问题之一，是每 种丈量类型根基上都要求分歧的线缆。

4200A-CVIV 多通路开关

选择与丈量类型配套的线缆加强了丈量齐全性。但是，扭转 每种丈量类型的电缆耗时很长，很多用户只能接受次优了局。

4200A-CVIV 多通路开干系接示意图。

此表，在沉新衔接电缆时，用户会晤对电缆沉连不正确的风险，
 进而导致谬误，必要额表的调试功夫。更糟糕的是，这些谬误在很长功夫内都可能把稳不到。
 另一种方式是使用可能切换 I-V 和 C-V 信号的远程开关，如吉时利 4200A-CVIV 多通路开关。
 新型 4200A-CVIV 多通路开关在 I-V 丈量和 C-V 丈量之间自动切换。此表，C-V 丈量能够移动到任何输出通路上，而不需沉新布线。这种 4 通路开关允许用户在 I-V 和 C-V 测试期间维持一样的阻抗，能够把探针保留在晶圆测试站上。另表，用户不必要扭转测试设置和电缆衔接，从而加强丈量的正确性。
 内置显示器在近器件端提供了清澈的测试信息。

• 查看实时测试状态

• 通过 Clarius 软件自界说输出通路名称规范

• 橡胶表圈支持在探针台上双向摆放

• 可能旋转文字，用户能够按需搁置开关地位

4225-RPM 远程预放/ 开关
？

对某些器件，要求进行多种类型的电丈量，如脉冲式I-V、 DC I-V 和C-V 测试。这通常要求表部开关矩阵，可能把各 类信号切换到被测器件。选配的4225-RPM 远程前端放大器 / 开关
？槟芄辉贒C I-V、C-V 和脉冲式I-V 丈量之间自动 切换，大大简化与器件的衔接。

4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？。

用户能够在器件上执行所有电丈量，而不用在每次测试时 断开和沉连线缆，从而节俭贵重的测试功夫，削减麻烦。

在使用4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？榈南谓油

4225-RPM 还作为前端放大器使用，扩大了PMU 上较低的 电流领域。这对某些器件出格沉要，如二极管，这类器件比 通常器件电流要低几个数量级。下面显示了通过4225-RPM 远程前端放大器/ 开关进行的二极管脉冲式I-V 丈量。其独 特的自动量程职能能够在进行脉冲式I-V 扫描期间自动选择 量程，用户不必要选择固定的量程，因而不会降低丈量分辨率。

4225-RPM 为脉冲利用提供了更低的电流领域。

选配的多种丈量机能电缆套件(4210-MMPC) 把4200A-SCS 参数分析仪衔接到探针臂上。除不必要沉新布线表，这个套 件还解除了由于连线谬误或选用谬误的电缆导致的丈量谬误， 有助于限度地提高信号保真度。

开关矩阵

4200A-SCS 有多种可选的开关矩阵配置。
 6 插槽707B 和单插槽708B 半导体开关矩阵主机大大缩短了 指令的响应功夫，其测试序列和整体系统吞吐量显著要快于 之前的主机设计。

708B 和707B 开关矩阵主机。

它们是专为半导体尝试室和出产测试环境设计的，选取尺度 三同轴衔接器和电缆，提供了超低电流开关机能。

6. NBTI/PBTI 套件

在开发大规模的硅CMOS 晶体管时，成立正/ 负偏压温度不 不变性(NBTI/PBTI) 模型是一个挑战。随着功夫推移，NBTI 效应导致晶体管的阈值电压(VT) 产生漂移，亚阈值漏极电流 显著提高，严沉影响晶体管的使用寿命和电路机能。

超急剧BTI 套件支持单点测试、滑润扫描、三角形和步进扫描丈量类型。

在器件开发期间，必须地成立这些效应模型，在工艺集 成和出产过程中必须监测这些效应。在BTI 个性分析期间， 晶体管会每隔一段功夫施加压力并测试。但是，BTI 机造容 易产生松驰效应，也就说是在去掉压力的时点上，晶体管开 始复原，退化会衰减。在松驰前分析退化效应必要使用超快 速I-V 技术。

4200-BTI-A 超急剧BTI 套件是业内的NBTI/PBTI 测 试平台，提供了所需的所有，能够在硅CMOS 技术上进 行美满的NBTI 和PBTI 丈量，蕴含一个4225-PMU 超急剧 I-V 
？椤⒘礁4225-RPM 远程前端放大器/ 开关、自动化 个性分析套件(ACS) 软件、超急剧BTI 测试项目
？楹拖呃。 测试软件
？槟芄磺岜愕亟缢笛沽Π词薄⒀沽η疤岷透骼嗖 量序列，蕴含单点Id 测试、On-The-Fly(OTF) 或ID-VG 扫描。 它能够丈量复原效应及退化效应，提供压力前和压力后丈量 选项，其中蕴含4200A-SCS 的DC SMUs，执行的幼信 号丈量。

超急剧BTI 测试软件
？橹С值サ悴馐浴⒉浇琛⒒笊 描和采样丈量等类型。每种类型的按时由测试采样率和各个 丈量设置确定。软件
？榛鼓芄唤谠觳馐孕蛄兄忻扛龅ピ 间的电压前提，即便在界说复杂的测试序列时，也能实现 大的矫捷性和易用性。

技术指标

除另行标注表，所有技术指标均为保险值。除另行标注表，所有技术指标均合用于所有型号。

1. 源丈量单元

• 根基信息

• 四象限源/ 阱操作
       每个SMU 上都有一个模数转换器
       支持4 线衔接（开尔文衔接）
       对数和线性丈量扫描
       4200A-SCS 主机能够支持多9 个中等功率或高功率SMU 
  ？

• 输出接口

• 每个SMU 上三个迷你三同轴三同轴( 母头) 接口，用于Force、Sense 和Sense Lo 一个定造15 针D-Sub ( 母头) 接口，用于衔接4200-PA

• 选配附件

• 4200-PA 远程预放
  ？

SMU 电流丈量4

注

1. 所有量程扩大到满量程的 105%。
 2. 这些量程的技术指标在有或没有 4200-PA 时均合用。
 3. 显示分辨率受到基础噪声极限限度。测得分辨率在每个量程上为 6 位半。源分辨率在每个量程上为 4 位半。
 4. 丈量精度和源精度是鄙人述前提下使用标配电缆时给出的。

• 23℃ ±5℃，校准后一年内，相对湿度 5%~60%，预热 30 分钟后。

• 速度设置为 NORMAL。

SMU 电压丈量3

注

1. 所有量程扩大到满量程的105%。
 2. 这些技术指标在有或没有4200-PA 时均合用。
 3. 丈量精度和源精度是鄙人述前提下使用标配电缆时给出的。

• 23℃±5℃，校准后一年内，相对湿度 5%~60%，预热30分钟后。

• 速度设置为 NORMAL。

• 有；さ Kelvin衔接。所有量程扩大到满量程的 105%。

电压监测模式

高阻抗电压表模式的设置为0 A 电流源输出。

精度和分辨率

• 输入阻抗

• 1013W

• 输入泄漏电流

• 30 pA

• 丈量噪声

• 0.02%* 丈量量程(rms)。

• 差分电压监测

• 使用VMU 模式的两个SMUs，或使用每个SMU 提供的低传感端子。

SMU 补充信息

补充信息没有保障，但提供了与4200-SMU、4210-SMU 仪器有关的实用信息。

• 限度值精度

• 限压值精杜纂电压源技术指标一致
       限流值精杜纂电流源技术指标一致

• 过冲

• 0.1% 典型值

• 电压

• 满刻度步进, 阻性负载和10mA 领域

• 电流

• 1 mA 步进, RL = 10 kW, 20 V 领域

量程瞬态变动

• 电压量程

• 200 mV

• 电流量程

• 200 mV

温度和湿度对精度的影响

精度指标乘以下面其中一个系数，具体视环境温度和湿度而定。

• 4 线衔接端(Remote Sense)

• 与FORCE 端子并联<10Ω，FORCE 端子和SENSE 端子之间的压差不超过5 V COMMON 和SENSE LO 之间±30 V。

• 负载电容

• 10 nF

• Guard 偏置电压

• FORCE 与Gurad 不超过 3 mV

• Guard 输出阻抗

• 100 kΩ

• Guard 电容

• 1500 pF

• 屏蔽电容

• 3300 pF

• 4200-SMU 和4210-SMU 输入阻抗(Force 到Common)

• >1012Ω (100 nA-1 ?A 领域)

• 屏蔽电容

• >1016Ω (1 pA 和10 pA 领域), >1013Ω (100 pA-100 nA 领域)

噪声个性( 典型值)

• 电压源 (rms)

• 0.01% 的输出量程

• 电流源 (rms)

• 0.1% 的输出量程

• 电压丈量(p-p)

• 0.02% 的丈量量程

• 电流丈量 (p-p)

• 0.2% 的丈量量程

• 上升速度

• 0.2 V/?s

• DC 浮地电压

• Common 端相对机箱地电压±32V

2. SMU 前端放大器
？

通过增长选配的4200-PA 前端放大器，能够扩大任何SMU 的低电流丈量职能。通过在职一SMU 型号中有效增长五个电流领域， 前端放大器提供了0.1fA 分辨率。前端放大器
？橛胂低澄薹旒；对用户来说，SMU 看上去只是提供了额表的低电流测试量程。

4200-PA 根基信息

装置

• 本地

• 前端放大器预装在4200A-SCS 后面板上，用于本地操作。

• 远程

• 用户能够从背面拆下前端放大器，放在远程地位( 如在不透光的夹具盒或在探针台内)，以解除由于长电缆导致的丈量问题。

• 输入接口

• 一个定造接口，15 针，D-Sub ( 公头)

• 输出接口

• 两个三同轴接口( 母头)

• 表观尺寸

• .079 英寸宽 x 4.4 英寸深 x 2.2 英寸高(2 cm 宽 x 11.3 cm 深 x 5.6 cm 高)

• 沉量

• 4.8 盎司(136 克)
  

使用4200-PA 前端放大器进行SMU 电流丈量4

注

1. 所有量程扩大到满量程的 105%。
 2. 这些量程的技术指标在有或没有 4200-PA 时均合用。
 3. 显示分辨率受到基础噪声极限限度。测得分辨率在每个量程上为 6 位半。源分辨率在每个量程上为 4 位半。
 4. 丈量精度和源精度是鄙人述前提下使用标配电缆时给出的。

• 23℃ ±5℃，校准后一年内，相对湿度 5%~60%，预热 30 分钟后。

• 速度设置为 NORMAL。

3. 多频率电容- 电压单元

4210-CVU 根基信息

• 丈量配置

• 四端子对，High POT，High CUR，Low POT，Low CUR

• 输出接口

• 四个SMA 接口( 母头)

• 标配电缆

• 100Ω, SMA ( 公头) 到SMA ( 公头), 1.5 m, 4 根

• 选配电缆

• 100Ω, SMA ( 公头) 到SMA ( 公头), 3 m

丈量职能

• 丈量参数

• CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta

• 量程

• 自动和固定

• 测试速度

• Fast, Normal, Quiet, 和自界说

测试信号

• 频率领域

• 1 kHz ~ 10 MHz

• 幼分辨率

• 1 kHz, 10 kHz, 100 kHz, 1 MHz, 视频率量程而定

• 源频率精度

• ±0.1%

• 信号输出电平领域

• 10 mV rms ~ 100 mV rms

• 分辨率

• 1 mV rms

• 精度

• ±(10.0% + 1 mV rms) 无负载时( 在后面板)

• 输出阻抗

• 100Ω, 典型值

DC 偏置职能

• DC 电压偏置领域

• ±30 V (60 V 差分)

• DC 电压偏置分辨率

• 1.0 mV

• DC 电压偏置精度

• ±(0.5% + 5.0 mV) 无负载时

• DC 电流

• 10 mA

扫描个性

• 提供的扫描参数

• DC 偏置电压, 频率, AC 电压

• 扫描类型

• 线性, 自界说

• 扫描方向

• 向上扫描, 向下扫描

• 丈量点数

• 4096

丈量精度4

C/G 丈量精度事俘

注

1. 电容和电导丈量精度是鄙人述前提下给出的：DX < 0.1。
 2. 电导精度指定为参考的电容上丈量的电导。
 3. 这些指标是典型值，非保障值，合用于23℃，仅供参考。
 4. 积分功夫：10 kHz 以下时为1 s 或10 s。测试信号电平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。
 所有技法术据合用于23℃ ±5℃、校准后一年以内、相对湿度5%~60%、预热30 分钟后。

CVU 电缆补充技术指标3

这些指标是典型值，非保障值，合用于23℃，仅供参考。

4210-CVU 典型电容精度，1.5m 电缆( 补充)

4210-CVU 典型电容精度，3m 电缆( 补充)

注

1. 电容和电导丈量精度是鄙人述前提下指定的：DX < 0.1。
 2. 电导精度指定为参考的电容上丈量的电导。
 3. 这些指标是典型值，非保障值，合用于23℃，仅供参考。
 4. 积分功夫：10 kHz 以下时为1 s 或10 s。测试信号电平: 30 mV rms。在4210-CVU 的后面板上。所有技法术据合用于23℃
 ±5℃、校准后一年以内、相对湿度5%~60%、预热30 分钟后。

4. CV-IV 多通路开关
？

I-V/C-V 多通路开关自动在I-V 丈量和C-V 丈量之间切换。此表，C-V 丈量能够 在分歧端口间自动切换，而不需沉新布线。用户能够配置每个通路，使用4200- PA 前端放大器或尺度电流分辨率时，选择SMU 直传
？4200A-CVIV-SPT 保障 低电流丈量精度。

4200A-CVIV 根基信息

• 输入接口

• 4200-PA 前端放大器：自界说, 15 针, D-Sub ( 公头)
       4200-CVIV-SPT SMU 直传
  ？椋好扛瞿
  ？榱礁鋈峤涌( 母头)
       CVU：四个SMA 接口( 母头)

• 输出接口

• 8 个三同轴接口( 母头)

• 表观尺寸

• 19.8 cm 宽 x 14.2 cm 高 x 11.1 cm 深
       (7.8 英寸宽 x 5.6 英寸高 x 4.4 英寸深)

• 沉量

• 1.5 公斤(3.3 磅)

• 供电

• 通过USB 电缆衔接至4200A-SCS 主机

• 输出通路

• 能够配置多4 个通路

• 电压

• 210 V

• 电流

• 1A

SMU 通路

SMU 通路

• AC 输出阻抗

• 100Ω, 典型值( 中央芯线到表部屏蔽层)

• 精度, 典型值

• 参阅下表

CVU DC 偏置职能

• 领域

• ±30V @ 10 mA 值(60V 差分)

• 分辨率

• 1 mV

• 其他误差( 对CVU 偏置职能)

• <50?V

• DC 输出电阻(4 线)

• <100 mΩ

4210-CVU 衔接到4200A-CVIV 多通路开关的典型精度，除另表标注表均为2 线模式1,3

注

1. CVU 赔偿功夫不超过一个月内有效。
 2. 4 线模式下指定；低阻抗器件推荐使用4 线测试。
 3. 上述技法术据是典型值，非保障值，合用于25℃，仅供参考。

5. 超急剧脉冲丈量单元

2 通路4225-PMU 同时提供了超急剧电压波形产生器及电压电流同步急剧测试职能。

4225-PMU 根基信息

• 输出接口

• 四个SMA 接口( 母头) 和两个HDMI 接口

• 提供的电缆

• SMA( 公头) 到SMA ( 公头), 2m, 每台4 根(CA-404B)
       SMA 到SSMC Y 型电缆, 6 英寸(15 cm), 每台2 根(4200-PRB-C)

• 选配附件

• 4225-RPM 单通路, 远程前端放大器/ 开关
  ？

PMU 电流丈量

按时参数，有和没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？槭钡牡湫椭

注

1. 所有典型值都使用开路测得。
 2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认丈量窗口。推荐幼脉冲宽度 = ( 稳按功夫) / 75%。
 3. 推荐上升/ 降落功夫，使过冲达到幼。
 4. 电压或电流量程一按时推荐幼丈量窗口上测得的RMS 噪声，典型值。
 5. 信号不变到DC 精度电平所需的功夫。( 例：10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳按功夫界说为信号不变到终值的1.25%领域内所需功夫。推算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

按时参数，使用4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？槭钡牡湫椭1

注

1. 所有典型值都使用开路测得。
 2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认丈量窗口。推荐幼脉冲宽度 = ( 稳按功夫) / 75%。
 3. 推荐上升/ 降落功夫，使过冲达到幼。
 4. 电压或电流量程一按时推荐幼丈量窗口上测得的RMS 噪声，典型值。
 5. 信号不变到DC 精度电平所需的功夫。( 例：10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳按功夫界说为信号不变到终值的1.25% 领域内所需功夫。推算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 电流丈量精度

仅4225-PMU

4225-PMU 和RPM 组合

PMU 电压丈量

按时参数, 典型值1

注

1. 所有典型值都使用开路测得。
 2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认丈量窗口。推荐幼脉冲宽度 = ( 稳按功夫) / 75%。
 3. 推荐上升/ 降落功夫，使过冲达到幼。
 4. 电压或电流量程一按时推荐幼丈量窗口上测得的RMS 噪声，典型值。
 5. 信号不变到DC 精度电平所需的功夫。( 例：10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳按功夫界说为信号不变到终值的1.25%领域内所需功夫。推算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

PMU 电压精度

电压和电流, 值1

注

1. 推算任何负载电阻上得到的电流和电压：
 IMAX = 电压量程/(50W + 电阻)
 VMAX = IMAX - 电阻
 其中：电阻是衔接到PMU 或PGU 通路的总电阻，电压量程为10 或40。例：选取10 V 量程 R= 10W (DUT 阻值 + 互连阻值)
 VMAX = IMAX - R = 0.167 - 10 = 1.67 V
 2. 脉冲输出接口上典型的值。电阻是衔接到脉冲输出接口的总电阻，蕴含器件和互连电阻。

PMU 脉冲/ 幅值1,2

注

1. 除另表指明表，所有技法术据均如果选取50W 端接。
 2. 幅值指标合用于10 V 源量程50 ns 的典型稳按功夫后( 在转换后)，40 V 源量程500 ns 的典型稳按功夫后( 转换后)，负载均为50W。
 3. 对10 V 源领域，跳变功夫为20 ns (0%-)；对40 V 源领域，跳变功夫为100 ns (0%-)。

PMU 脉冲按时

注

1. 在电压

电压源, 机能

在选取4225-PMU 作为纯电压源时( 不测量电压或电流)，按机遇能会得到改进。下面更明显地论述了作为电压源使用时的 好机能，这是在前提下实现的。这些数据不应理解为保险值。

触发

• 触发输出阻抗

• 50Ω

• 触发输出电平

• TTL

• 触发输入阻抗

• 10 k

• 触发输入电平

• TTL

• 触发输入跳变按时，值

• <100 ns

• 触发输入到脉冲输出延长

• 400 ns

• 触发同步/ 抖动1

• <2 ns

Segment ARB? 和按时

Segment ARB 职能合用于4225-PMU 和4220-PGU，合用于有或没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？榈那榭。

• 段数2

• 2048

• 序列数2

• 512

• 序列循环数

• 1012

• 每段功夫

• 20 ns ~ 40 s

• 段按时辰辨率

• 10 ns

• 每段的节造参数

• 起头电压
       终场电压
       持续功夫
       丈量窗口( 仅PMU 或PMU+RPM)
       丈量类型( 仅PMU 或PMU+RPM)

• RMS 抖动( 段)

• 0.01% + 200 ps 典型值

注

1. 对一台4200A-SCS 机箱中有多张4225-PMU 或4220-PGU 卡。
 2. 每个通路。

6. 脉冲产生器单元

在不必要脉冲丈量时，2 通路纯电压脉冲产生器为4225-PMU 超急剧脉冲丈量单元提供了经济的代替规划。

4220-PGU 根基信息

• 输出接口

• 四个SMA 接口( 母头)

• 标配电缆

• SMA ( 公头) 到SMA( 公头), 2 m, 每台4 根(CA-404B)
       SMA ( 公头) 到SSMC Y 型电缆, 15 cm (6 英寸), 每台2 根(4200-PRB-C)

脉冲/ 电平1,2

注

1. 除另行指明表，所有技法术据均如果50W 端接。
 2. 电平指标合用于10 V 源量程50 ns 的典型稳按功夫后( 在转换后)，40 V 源量程500 ns 的典型稳按功夫后( 转换后)，负载均为50W。
 3. 对10 V 源领域，跳变功夫为20 ns (0%-)；对40 V 源领域，跳变功夫为100 ns (0%-)。

脉冲按时

注

1. 对10 V 源领域，跳变功夫为30 ns；对>10 V 源领域，跳变功夫为100 ns。

电压源, 机能

在选取4225-PMU 作为纯电压源时( 不测量电压或电流)，按机遇能会得到改进。下面更明显地论述了作为电压源使用时的 好机能，这是在前提下实现的。这些数据不应理解为保险值。

• 触发输出阻抗

• 50Ω

• 触发输出电平

• TTL

• 触发输入阻抗

• 10 k

• 触发输入电平

• TTL

• 触发输入跳变按时，值

• <100 ns

• 触发输入到脉冲输出延长

• 400 ns

• 触发同步/ 抖动1

• <2 ns

Segment ARB? 和按时

Segment ARB 职能合用于4225-PMU 和4220-PGU，合用于有或没有4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？榈那榭。

• 段数2

• 2048

• 序列数2

• 512

• 序列循环数

• 1012

• 每段功夫

• 20 ns ~ 40 s

• 段按时辰辨率

• 10 ns

• 每段的节造参数

• 起头电压
       终场电压
       持续功夫
       丈量窗口( 仅PMU 或PMU+RPM)
       丈量类型( 仅PMU 或PMU+RPM)

• RMS 抖动( 段)

• 0.01% + 200 ps 典型值

1. 合用于一个4200A-SCS 机箱中的多张4225-PMU 或4220-PGU 卡。

7. 远程前端放大器/ 开关
？

4225-RPM 能够在I-V 丈量、C-V 丈量和脉冲式I-V 丈量之间自动切换，允许选 择相应的丈量，而不需对测试设置沉新布线。此表，RPM 扩大了4225-PMU 脉冲 丈量
？榈牡缌髁砍。

4225-RPM 根基信息

• 输入

• 三个输入。SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control

• 输出

• 一个通路

• 输入接口

• 三同轴接口( 母头), 两个SMA 接口( 母头), 两个HDMI

• 输出接口

• 三同轴接口( 母头), 两个

• 表观尺寸

• 1.34 英寸宽 x 4.9 英寸深 x 3.0 英寸高(3.4 cm 宽 x 12.5 cm 深 x 7.6 cm 高)

• 带底座时表观尺寸

• 1.34 英寸宽 x 4.9 英寸深 x 3.8 英寸高(3.4 cm 宽 x 12.5 cm 深 x 9.6 cm 高)

• 沉量

• 8.6 盎司(245 克) ( 带底座时: 13.4 盎司(381 克))

• 选配附件

• 磁性底座
       真空底座

RPM 电流丈量

按时参数, 带有4225-PMU 和4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？榈牡湫椭

注

1. 所有典型值都使用开路测得。
 2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认丈量窗口。推荐幼脉冲宽度 = ( 稳按功夫) / 75%。
 3. 推荐上升/ 降落功夫，使过冲达到幼。
 4. 电压或电流量程一按时推荐幼丈量窗口上测得的RMS 噪声，典型值。
 5. 信号不变到DC 精度电平所需的功夫。( 例：10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳按功夫界说为信号不变到终值的1.25%领域内所需功夫。推算公式：精度 = 0.25% + 100 μA = 0.25% + (100 μA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

电流丈量精度

4225-PMU 和RPM 组合

脉冲/ 电平1

注

1. 在4225-PMU 和4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？橹涫褂2m RPM 互加电缆时4225-RPM 三同轴输出接口处的机能。
 2. 100mV ~ 10V。
 3. 典型值, 跳变功夫100ns (0% - )。

使用4225-PMU 进行RPM 电压丈量

按时参数, 典型值1

注

1. 所有典型值都使用开路测得。
 2. 使用75%~90% 的脉冲顶部默认丈量窗口。推荐幼脉冲宽度 = ( 稳按功夫) / 75%。
 3. 推荐上升/ 降落功夫，使过冲达到幼。
 4. 电压或电流量程一按时推荐幼丈量窗口上测得的RMS 噪声，典型值。
 5. 信号不变到DC 精度电平所需的功夫。( 例：10mA 电流量程在PMU 10V 量程下的稳按功夫界说为信号不变到终值的1.25%领域内所需功夫。推算公式：精度 = 0.25% + 100mA = 0.25% + (100 mA/10 mA) = 0.25% + 1% = 1.25%)。

8. 开关矩阵配置

超低电流/ 本地传感配置（4200-UL-LS-XX）

超低电流/ 本地传感开关配置选取吉时利7174A 低电流矩阵卡（带有707B 或708B 开关矩阵）构建，是为要求高质量、高性 能I-V 和C-V 信号开关的半导体钻延注开发和出产利用设计的。这种配置提供了8 个仪器输入，支持多72 个输出引脚， 典型偏置电流仅10 fA。

整体信息 (4200-UL-LS-XX)

• 接口类型

• 3 槽三同轴

• 信号电平

• 200 V, 1 A

• 偏置电流

• <1 pA ( 行A-B)

• 泄漏电流

• 0.01 pA/V

• 3 dB 带宽

• 30MHz 典型值

4200-LC-LS-12/B 或-12/707B

1 台708B ( 或707B) 开关主机
 1 个7072 矩阵开关卡
 12 根4200-TRX-3 电缆
 1 根7007-1 IEEE-488 电缆
 2 个7078-TRX-BNC 转接头

4200-LC-LS-24/B 或-36B, -48B, -60B, -72B

1 台707B 开关主机
 每12 针1 个7072 矩阵开关卡
 每12 针12 根4200-TRX-3 电缆
 1 根7007-1 IEEE-488 电缆
 2 个7078-TRX-BNC 转接头

707B 6 插槽半导体开关矩阵主机

708B 单插槽半导体开关矩阵主机

低电流/ 本地传感配置(4200-LC-LS-XX)

低电流/ 本地传感开关配置选取吉时利7072 半导体矩阵卡构建，是为要求优异质量的I-V 和C-V 信号的半导体利用专门设计 的。这种配置提供了8 个仪器输入，支持多72 个输出引脚，偏置电流不到1 pA。

整体信息(4200-LC-LS-XX)

• 衔接器类型

• 3 蝶阀三轴电缆衔接器

• 信号电平

• 200 V, 1 A

• 偏置电流

• <1 pA ( 第A-B 行)

• 泄漏电流

• 0.1 pA/V

• 3 dB 带宽

• 5 MHz 典型值( 第G-H 行)

4200-UL-LS-12/B 或-12/707B

1 台708B ( 或707B) 开关主机
 1 个7174A 开关卡
 每12 针12 根4200-TRX-3 电缆
 1 根7007-1 IEEE-488 电缆
 2 个7078-TRX-BNC 转接头

4200-LC-LS-24/B, -36/B, -48/B, -60/B, -72/B

1 台707B 开关主机
 每12 针1 张7072 矩阵开关卡
 每12 针12 条4200-TRX-3 电缆
 1 条7007-1 IEEE-488 电缆
 2 个7078-TRX-BNC 转接头

9. NBTI/PBTI 套件

4200-BTI-A 套件同时提供了吉时利DC I-V 和超急剧I-V 丈量职能及自动测试执行软件，提供了半导体测试行业内的NBTI/PBTI 测试平台。

4200-BTI-A 超急剧NBTI/PBTI

4200-BTI-A 套件蕴含在硅CMOS 技术上进行美满的NBTI 和PBTI 丈量所需的全数仪器、互连和软件。

Model 4200-BTI-A

提供了单机集成解决规划中的高速度、低电流丈量活络度。

确保源/ 丈量仪器在进行低电平丈量时不会成为限度成分。
 ACS 软件以套件方式提供，支持构建复杂的测试序列，蕴含多20 个丈量序列及多种探针台驱动。它还：
 把DC I-V 和超急剧I-V 丈量轻便集成到加压前和加压后丈量序列中。
 使用AC 或DC 压力分析退化和复原个性。
 在较长的压力丈量序列中蕴含单脉冲电荷阱陷(SPCT) 丈量。

4200-BTI-A 超急剧NBTI/PBTI 蕴含：

1 个4225-PMU 超急剧I-V 
？
 2 个4225-RPM 远程前端放大器/ 开关
？
 自动化个性分析套件(ACS) 软件
 超急剧BTI 测试项目
？
 线缆

使用8 个SMU 对20 个器件进行并行HCI 和NBTI 测试的事俘。公共端子使用单独的接地单元(GNDU)。

10. Clarius+ 软件

Clarius+ 软件为运行和守护4200A-SCS 参数分析仪提供了各类工具。

自带的软件
？

• Clarius

• 用来测试和分析器件、资料和工艺特点的图形用户界面。Clarius 软件提供了统一丈量界面，疏导您实现复杂的个性分析测试，您能够把沉点放在研发项目上。

• 吉时利用户库工具(KULT)

• 协助测试工程师创建自界说测试法式，使用现有的吉时利和第三方C 说话子例程库。用户能够编纂和汇编子例程，而后把子例程库与KITE 集成在一路，允许4200A-SCS 从一个用户界面节造整个测试机架。要求选配4200-Compiler。

• 吉时利表部节造接口(KXCI)

• 通过GPIB 总线从表部推算机节造4200A-SCS。

• 吉时利配置工具(KCon)

• 允许测试工程师配置衔接到4200A-SCS 的GPIB 仪器、开关矩阵和探针台。同时还提 供了一些诊断工具。

• KPulase

• 一个图形用户界面，无需编程，用来配置和节造装置的4225-PMU 或4220-PGU 脉冲 产生器
  ？。它用于急剧测试，与其他4200A-SCS 测试资源的交互要求达到幼。

• Clarius 用户界面软件

• Clarius 4200A-SCS 上运行的标配用户界面软件。Clarius 在嵌入式Windows 7 操作系 统上运行。它为现代半导体器件、资料和工艺个性分析提供了测试规划选择和开发、高 级测试配置、参数分析和图示及自动化职能。

• 数据分析

• 提供了两种参数提取方式。Formulator 为执行自动线拟合和参数提取执行数据变换。电 子表格提供了尺度电子表格分析工具。很多样例库都蕴含参数提取事俘。

• Formulator

• Formulator 支持数学运算职能、转换职能、搜索职能、常用行业常数和线拟合/ 参数提 取职能。Formulator 支持下述职能：

• 数学函数

• 加(+), 减(-), 除(/), 乘(*), 指数(^), 值(ABS), 索引地位值(AT), 均匀数(AVG), 移动 均匀(MAVG), 前提推算(COND), 导数(DELTA), 差分系数(DIFF), 指数(EXP), 平方根 (SQRT), 天然对数(LN), 对数(LOG), 积分(INTEG), 尺度方差(STDEV), 移动求和 (SUMMV), 反余弦(ACOS), 归正弦(ASIN), 归正切(ATAN), 余弦(COS), 正弦(SIN), 正切(TAN)

• 转换职能

• 弧度到度(DEG), 度到弧度(RAD)

• 直线拟合和参数提取职能

• 指数直线拟合(EXPFIT), 系数a (EXPFITA), 系数b (EXPFITB)，线性拟合(LINFIT), 线性 斜率(LINFITSLP), x 截距(LINFITXINT), y 截距(LINFITYINT) 对数线拟合(LOGFIT), 系数 a (LOGFITA), 系数b (LOGFITB) 线性回归线拟合(REGFIT), 斜率(REGFITSLP), x 截距 (REGFITXINT), y 截距(REGFITYINT) 切线拟合(TANFIT), 斜率(TANFITSLP), x 截距 (TANFITXINT), y 截距(TANFITYINT) 多项式线拟合蕴含POLYFIT2、POLY2COEFF 和 POLYNFIT。值(MAX), 幼值(MIN), 中值(MEDIAN)

• 搜索职能

• 向下查找(FINDD), 向上查找(FINDU), 使用线性插补查找(FINDLIN), 值地位(MAXPOS), 幼值地位(MINPOS)，个地位(FIRSTPOS), 一个地位(LASTPOS) 子阵列 (SUBARRAY), 返回指定数量的点(INDEX)

• Formulator 常数

• Formulator 支持用户提供的常数，用于参数提取。以下常数在出厂时软件自带常数：
       PI = 3.14159 rad (π)
       K = 1.38065 × 10-23 J/K ( 玻尔兹曼常数)
       Q = 1.60218 × 10-19 C ( 电子的电荷)
       M0 = 9.10938 × 10-31 kg ( 电子质量)
       EV = 1.60218 × 10-19 J ( 电子电压)
       U0 = 1.25664 × 10-6 -2 ( 磁导率)
       E0 = 8.85419 × 10-12 F/m ( 真空的磁导率)
       H = 6.62607 × 10-34 J-s ( 普朗克常数)
       C = 2.99792 × 10+8 m/s ( 光速)
       KT/Q = 0.02568 V ( 热电压)

自动化

• 测试序列

• Clarius 在一个器件、一组器件( 子站、
  ？榛虿馐缘ピ) 或晶圆上用户可编程数量的 探针台上提供了&ldquo;指向点击&rdquo;测试定序职能。

• 探针台节造

• 吉时利集成了好多探针台驱动能够在测试过程中自动节造探针台。与工厂联下反确认支 持的探针台厂家及型号。&ldquo;手动&rdquo;探针台模式允许操作人员在测试序列过程中对探针台 进行操作。

• 支持的探针台

• 手动探针台
       使用手动探针台驱动进行测试，而不需使用自动探针台职能。手动探针台由操作人员控 造来包办电脑节造。在每条号令下，会出现一个对话提醒框，领导操作人员要求哪些操作。

• 
  

• 虚构探针台
       在不仅愿探针台操作时能够使用虚构探针台，如在调试时，而没有必要从测试序列中删 除探针台号令。

• 
  

• 支持的半自动( 分析) 探头
       Cascade Microtech Summit? 12K 系列- Verified with Nucleus UI Karl Suss Model PA-200-Verified with Wafermap for ProberBench NT, ProberBench NT 专用NI-GPIB 驱动法式, ProberBench NT 专用PBRS232 接口, Navigator for ProberBench NT, Remote Communicator for ProberBench NT MicroManipulator 8860 Prober-Verified with pcBridge, pcLaunch, pcIndie, pcWfr, pc-Nav, pcRouter Signatone CM500 驱动器还合用于带有互锁节造器的其他Signatone 探头, 如WL250 和 S460SE Wentworth Laboratories Pegasus? FA 系列
       其他支持但没有列出的探头

吉时利用户库工具(KULT)

(要求选配4200-COMPILER)

吉时利用户库工具支持创建及把C 说话子例程库与测试环境集成起来。用户库
？樵贑larius 中通过用户测试
？榻蛹。出 厂时提供的库为支持的仪器提供启动和运行职能。用户能够编纂和编译子例程，而后把子例程库与Clarius 集成在一路，允许 4200A-SCS 从一个用户界面节造整个测试机架。

系统配置和诊断(KCON)

吉时利配置工具(KCON) 简化了编程和守护全面集成的测试站的工作。KCON 为配置表部仪器、开关矩阵和探针台及执行系 统诊断提供了统一的界面。

• 表部仪器配置

• KCON 允许尝试室治理员把表部仪器与4200A-SCS 及支持的开关矩阵集成起来。在用 户为支持的仪器配置GPIB 地址后， 吉时利提供的库将起效， 测试
  ？槟芄辉 4200A-SCS 系统之间转移，用户不必要做任何批改。除支持的尺度仪器表，通用仪器允 许用户为通用的2 端子或4 端子仪器开发子例程和节造开关。为实现的系统扩大能力， 用户可以为通用仪器开发自己的测试库。

• 开关矩阵配置

• 用户通过支持的开关矩阵配置界说4200A-SCS 仪器和表部仪器到被测器件(DUT) 引脚的衔接。( 拜见开关矩阵支持和配置) 一旦界说了衔接，用户只需输入仪器端子 名称和引脚编号，就能够成立衔接。4200A-SCS 利用和尺度用户库治理在仪器端子 与DUT 引脚之间输送测试信号。用户不必要记住和编程行和列关合。测试
  ？槟芄辉 4200A-SCS 系统之间转移，而不必要沉新输入衔接信息。

• 4200A-SCS 仪器诊断

• 通过运行系统自检，用户能够确认SMU、C-V 丈量单元、脉冲产生器、示波器和远程前 端放大器的系统齐全性。对比力复杂的问题，系统的配置分析工具能够天生汇报，援手 吉时利技术支持人怨仫断问题。

吉时利表部节造接口(KXCI)

通过KXCI，您能够使用表部推算机直接节造4200A-SCS 中的SMU 和CVU 
？。KXCI 还能够使用UTM 通过内置GPIB 或 以太网间接节造超急剧I-V 脉冲丈量单元。对SMU，KXCI 号令集蕴含HP 4145 兼容模式，HP4145 的很多已写好法式尽能够 在4200A-SCS 上使用。