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iAB系列 自动晶圆键合设备

iAB系列产品是星空科技自主研发的自动晶圆键合设备，可能实现晶圆与晶圆自动键合。设备拥有高温高压高真空技术，选取了对准键合一体式设计，无需键合夹具，拥有键合精度高、良率高的优势。


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