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iCB系列 自动芯片键合设备

ICB系列产品是星空科技自主研发的自动芯片键合设备 ，可实现芯片与芯片、芯片与晶圆键合 。设备拥有高精度对准、高精度调平、高精度力控、高精度温控等关键技术 ，拥有键合精度高的利益 。
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